工研院史料文物館

超細纖維人工皮革晶圓研磨墊

比真皮還柔韌
轉化:物質的關鍵─材化產業
展品介紹
超細纖維人工皮革晶圓研磨墊 2023 貝達先進材料股份有限公司捐贈 文物 工研院與三芳公司研發的超細纖維人工皮革應用在晶圓製造加工業,所製成的晶圓研磨墊創新產品是半導體製造過程中的關鍵材料,用於平整、平滑晶圓表面,這對於製造高性能的半導體元件至關重要,不同的製程需要不同類型的研磨墊,以滿足特定的要求。
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